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硅烷燃烧筒
硅烷燃烧筒是处理硅烷、氨气及其他可溶性气体的废气净化设备，主要用于处理太阳能电池生产线行业以及CVD化学气相沉积工艺所产生的废气。
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全玻璃钢材质，具有耐腐阻燃，坚固防滑、质量轻、易安装、免维护、绝缘等优异特性。
本产品采用优质不锈钢原料进行制造，根据硅烷与空气接触而自燃的特点，使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧，燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室，经过喷雾处理，使废气与中和循环液接触反应，然后进入脱液器脱液处理后由抽风机排入大气。
处理硅烷、氨气及其他可溶性气体的废气净化设备，主要用于处理太阳能电池生产线行业以及CVD化学气相沉积工艺所产生的废气。
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