硅烷和乙炔是光伏制造、半导体等行业中常见的废气成分，具有高毒性、易燃易爆等特点，需采用专业处理技术确保安全达标排放。以下是硅烷、乙炔废气处理的完整解决方案：

一、废气特性与处理难点

硅烷特性 易燃易爆，空气中爆炸极限为1.37%~96%

遇水分解生成二氧化硅和氢气，易堵塞管道

高毒性，对人体呼吸系统有严重危害

乙炔特性

爆炸极限宽（2.5%~82%），点火能量低

燃烧温度高（可达3100℃），需控制燃烧条件

不完全燃烧会产生碳黑和CO，造成二次污染

处理难点 废气成分复杂，需同时处理硅烷、乙炔及其他杂质（如氮气、氢气）

燃烧过程需精确控温，防止爆炸和二次污染

二氧化硅粉尘易沉积，需高效清除

二、处理工艺与技术路线

采用 “高温燃烧+湍流洗涤+深度净化” 三级处理工艺，确保废气达标排放。

1. 高温燃烧单元 功能：将硅烷、乙炔彻底分解为SiO2、CO2和H2O

核心设备：应急燃烧筒

技术参数： 燃烧温度：1100~1200℃

停留时间：≥0.5秒

空气补给：过量空气系数1.2~1.5

安全措施： 配置LEL浓度监测仪和防回火装置

设置泄爆片和紧急切断阀

2. 湍流洗涤单元

功能：去除燃烧后产生的SiO?粉尘和残余污染物

核心设备：螺旋喷淋洗涤塔

技术参数： 气液混合率：≥98%

喷淋液：碱性溶液（如NaOH，pH=10~12） 液气比：3~5 L/m³

特点： 采用螺旋式防堵喷嘴，适应高粉尘环境 配置循环水系统，降低运行成本

3. 深度净化单元

功能：进一步去除微量污染物（如NO2、CO）

核心设备：填料塔+活性炭吸附装置

技术参数：

填料材质：PP或PVDF

活性炭更换周期：6~12个月

特点： 填料塔增强气液接触，提高净化效率

活性炭吸附残留有机物，确保排放达标

三、系统优势

安全性高 多重防爆设计，实时监控废气浓度和燃烧状态 处理效率高 硅烷、乙炔去除率≥99%，粉尘捕集率≥98% 运行成本低 循环水系统+自动化控制，降低能耗和人工成本 适应性强 可处理复杂成分废气，适应不同工况

四、排放标准 处理后废气达到以下指标：

颗粒物（SiO2）：≤10 mg/m³

CO：≤50 mg/m³

NO2：≤100 mg/m³

非甲烷总烃（NMHC）：≤50 mg/m³

五、应用领域

光伏制造：硅烷废气处理

半导体行业：CVD工艺尾气净化

化工行业：乙炔生产及使用环节废气处理

通过上述工艺，硅烷、乙炔废气可实现安全、高效、经济的处理，助力绿色生产！