硅烷和乙炔是光伏制造、半导体等行业中常见的废气成分，具有高毒性、易燃易爆等特点，需采用专业处理技术确保安全达标排放。以下是硅烷、乙炔废气处理的完整解决方案：

 一、废气特性与处理难点 

硅烷特性 易燃易爆，空气中爆炸极限为1.37%~96% 

遇水分解生成二氧化硅和氢气，易堵塞管道 

高毒性，对人体呼吸系统有严重危害 

乙炔特性 

爆炸极限宽（2.5%~82%），点火能量低 

燃烧温度高（可达3100℃），需控制燃烧条件 

不完全燃烧会产生碳黑和CO，造成二次污染 

处理难点 废气成分复杂，需同时处理硅烷、乙炔及其他杂质（如氮气、氢气） 

燃烧过程需精确控温，防止爆炸和二次污染 

二氧化硅粉尘易沉积，需高效清除 

二、处理工艺与技术路线 

采用 “高温燃烧+湍流洗涤+深度净化” 三级处理工艺，确保废气达标排放。 

1. 高温燃烧单元 功能：将硅烷、乙炔彻底分解为SiO2、CO2和H2O 

核心设备：应急燃烧筒 

技术参数： 燃烧温度：1100~1200℃ 

停留时间：≥0.5秒 

空气补给：过量空气系数1.2~1.5 

安全措施： 配置LEL浓度监测仪和防回火装置 

设置泄爆片和紧急切断阀

 2. 湍流洗涤单元 

功能：去除燃烧后产生的SiO?粉尘和残余污染物 

核心设备：螺旋喷淋洗涤塔 

技术参数： 气液混合率：≥98% 

喷淋液：碱性溶液（如NaOH，pH=10~12） 液气比：3~5 L/m³ 

特点： 采用螺旋式防堵喷嘴，适应高粉尘环境 配置循环水系统，降低运行成本 

3. 深度净化单元 

功能：进一步去除微量污染物（如NO2、CO） 

核心设备：填料塔+活性炭吸附装置 

技术参数： 

填料材质：PP或PVDF 

活性炭更换周期：6~12个月 

特点： 填料塔增强气液接触，提高净化效率 

活性炭吸附残留有机物，确保排放达标

 三、系统优势 

安全性高 多重防爆设计，实时监控废气浓度和燃烧状态 处理效率高 硅烷、乙炔去除率≥99%，粉尘捕集率≥98% 运行成本低 循环水系统+自动化控制，降低能耗和人工成本 适应性强 可处理复杂成分废气，适应不同工况 

四、排放标准 处理后废气达到以下指标： 

颗粒物（SiO2）：≤10 mg/m³ 

CO：≤50 mg/m³

 NO2：≤100 mg/m³ 

非甲烷总烃（NMHC）：≤50 mg/m³

 五、应用领域

 光伏制造：硅烷废气处理 

半导体行业：CVD工艺尾气净化 

化工行业：乙炔生产及使用环节废气处理 

通过上述工艺，硅烷、乙炔废气可实现安全、高效、经济的处理，助力绿色生产！