高效环保的PECVD尾气处理技术:助力绿色制造与可持续发展
随着半导体、光伏、显示面板等高科技产业的快速发展,等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术因其优异的薄膜沉积性能被广泛应用。然而,PECVD工艺过程中产生的尾气含有多种有害物质,如未完全反应的硅烷(SiH?)、氨...
查看详情随着半导体、光伏、显示面板等高科技产业的快速发展,等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术因其优异的薄膜沉积性能被广泛应用。然而,PECVD工艺过程中产生的尾气含有多种有害物质,如未完全反应的硅烷(SiH?)、氨...
查看详情随着全球光伏产业的快速发展和环保政策的日益严格,光伏废气处理市场正迎来前所未有的发展机遇。本文将深入分析未来几年光伏废气处理市场的增长趋势、驱动因素及市场潜力,为行业从业者提供有价值的参考。
查看详情在光伏产业中,硅烷塔(Silane Tower)通常指用于处理多晶硅生产过程中产生的含硅烷废气的关键设备。硅烷是制造高纯度多晶硅的重要原料,但在生产、储存和运输过程中可能产生废气,若直接排放会引发安全和环保问题。
查看详情常州银河世纪微电子有机废气处理项目程案例
常州银河世纪微电子股份有限公司是一家专注于半导体分立器件研发、生产和销售的高新技术企业,具备IDM模式下的一体化经营能力。公司于2021年1月27日在上交所上市。半导体生产过程中产生的废气依据废气排放特性,可分... 【更多详情】