江苏超日净化设备公司主要经营氮氧化物酸雾净化塔,生物除臭装置,硅烷燃烧塔,大型污水池槽盖等各种净化设备.ISO9001质量保证;电话:13806151053网站地图
会员文章分类列表
 
 
您所在的位置:首页 > 新闻资讯 > 技术文件

PECVD废气处理技术


日期:2014-2-17 15:22:36    人气:1




PECVD工艺设备出来的废气主要为硅烷及氨气,单台设备总排气量小于1000m3/h。硅烷是一种可燃性气体,而氨气是一种可溶性气体,处理这些混合废气分两步走:先燃烧后喷淋,即先将废气中的硅烷燃烧掉,燃烧后的气体中只含氨气,此时采用喷淋吸收。

主要化学反应方程式为:

SiH4+2 O2→ SiO2+ 2H2O

NH3+ H2O→NH4OH

简要工艺流程如下:        

(示图仅作参考)

PECVD的工艺废气设备具体处理过程:

含有硅烷及氨气等成分的混合废气通过管道进入燃烧塔中,在燃烧塔内部的燃烧室内硅烷气体与通入的压缩空气接触燃烧,燃烧后产生的二氧化硅粉尘沉积从燃烧室底部的排渣口排出,而含有氨气的其他废气进入喷淋洗涤室。在喷淋洗涤室中,氨气与循环液发生反应而被处理掉,处理完的气体经脱液室脱液处理后由抽风机抽出,本系统风机采用一用一备形式,最后通过15排放烟囱排入大气,排出气体达到GB14554-93《恶臭污染排放标准》标准。



本文网址:http://www.chaori.net/html/jishuwenjian/38.html

相关标签提取: 太阳能 (3) 化工污染 (1) 多晶硅 (1) 有机废气净化器 (1) 硅烷燃烧塔 (1) CRS型不锈钢硅烷燃烧塔 (1) 大型玻璃钢槽盖 (1)

上一篇: 高氨氮污水处理技术
下一篇: 技术文件

相关文章:

 
地址:江苏省常州市武进区雪堰镇漕桥工业集中区        电话:0519-81290568      传真:0519-81290566   网址:www.chaori.net      邮箱:jschaori@163.com
版权所有:江苏超日净化设备有限公司    备案号:苏ICP备10220087号